Allt frá 7 nm diskum til háþróaðra umbúða, hver nýr hnút ýtir eiginleikastærðum í átt að líkamlegum takmörkum og breytir „hreinsun“-einu sinni bakgrunnsskref-í nanómetra- eða jafnvel angström-verkefni. Hefðbundin flúorkolefni (CFC-113, PFC) eru ekki-eldfim og hafa litla eiturhrif, en óson-eyðing þeirra eða hátt GWP snið hafa kallað fram alþjóðleg bann. Vatnskennd efnafræði skilur oft eftir sig vatnsmerki, tærir málma og eyðir miklu magni af þurrkun.Hydrofluoroether (HFE), sem sameinar núll ODP, lágt GWP, ó-eldfimi og engar leifar, hefur fljótt orðið nýja uppáhalds verkfræðingsins og er nú litið á sem fullkominn græna staðgengill fyrir hár-nákvæmni hreinsun.
1. Hvers vegna HFE flúor leysir getur séð um hálfleiðarahreinsun
Sameindaverkfræði skilar jafnvægi á frammistöðu
Eter súrefni er læst inn í kolefnisbeinagrindina og gildin sem eftir eru eru lokuð með vetni, sem varðveitir efnafræðilega tregðu og lága pólun flúorkolefna á sama tíma og gróðurhúsaáhrif og eiturhrif eru skorin niður. Tökum almenna einkunn HFE-347 (C₃H₃F₇O) sem dæmi:
Suðumark 56,2 gráður; hár gufuþrýstingur við stofuhita fyrir hraða, vatns-merkja-lausa þurrkun
Yfirborðsspenna aðeins 16,4 mN m⁻¹, kemst í gegnum 10 nm skurði og „lyftir“ ögnum og ljósþolsbrotum
Rafmagnsstyrkur 40 kV, gerir kleift að þrífa-verkfæri í beinni án niðurbrots á hlið-oxíð
Enginn blossamark, engin sprengimörk, lækkar strax-eldhættu
Framúrskarandi efnissamhæfi
Núll tæringu á Cu, Al, Ti, Ta, Ni, SnAg lóðum, Low-k rafeindabúnaði, PI, LCP, FR-4; mikil sértækni fyrir PR, BARC, SiO₂, Si₃N4-búnaðarbyggingu er ósnortinn.
Reglugerðar- og umhverfisvænt-vænt
ODP=0, GWP ≈ 540, andrúmsloftslíftími < 1 ár, uppfyllir ESB VOC, RoHS, REACH og ODS-vegakort Kína. Hægt er að eima og endurvinna notaðan vökva > 10 sinnum, sem lækkar heildareignarkostnað (TCO) um 15–25%.
Frábær hreinsunarvirkni fyrir tiltekin aðskotaefni
Þó að það séu ekki alhliða leysiefni fyrir öll lífræn efni, þá eru HFEs mjög áhrifaríkar fyrir marknotkun sína:
Frábært til að fjarlægja perflúoruð smurefni og fitu: Þau eru valinn leysir til að fjarlægja perflúorpólýeter (PFPE) og Krytox™- smurefni sem notuð eru í lofttæmiþéttingar, lokar og vélfærafræði í verkfærum til að framleiða hálfleiðara.
Virkar á flæðileifar og jónísk mengunarefni: Þegar þau eru samsett með sveiflujöfnun eða sam-leysum geta þau fjarlægt lóðaflús og agnamengun án vatns.
Nákvæmni þurrkun án leifa
HFEs hafa einstaka samsetningu eiginleika sem gera fullkomna „dropaþurrkun“:
Lítil yfirborðsspenna og mikil bleyta: Þeir komast í gegnum flókna rúmfræði og undir lágt-standandi íhluti.
Mikil rokgjörn: Þeir gufa upp alveg og hratt án þess að skilja eftir sig vatnsbletti eða jónaleifar, sem er mikilvægt fyrir framleiðslu með mikla-afrakstur.
Ferli skilvirkni og fjölhæfni
HFEs gera sveigjanlegar og skilvirkar hreinsunaraðferðir:
Samhæfni við gufufituhreinsun: Sveigjanleiki þeirra og stöðugleiki gerir þau tilvalin fyrir nútíma, lokuð gufuhreinsiefni, sem eru leysis-hagkvæm og veita yfirburða þrif á flóknum hlutum.
Sam-leysis "Zip" hreinsun: Azeotropic eða non{1}}azeotropic blöndur með alkóhólum (eins og IPA) eða kolvetni geta fyrst leyst upp skautuð/lífræn aðskotaefni, sem síðan eru skoluð í burtu með hreinu HFE, sem skilur eftir sig fullkomlega þurrt, leifar-laust yfirborð.
Samhæfni við sjálfvirkni: Eiginleikar þeirra leyfa samþættingu í sjálfvirk hreinsikerfi.
Kostir starfsmanna öryggis
Lítil eituráhrif: Þeir hafa litla bráða og langvarandi eituráhrif, með háum váhrifamörkum (venjulega há þröskuldsmörk - TLV).
Skemmtileg lykt: Ólíkt mörgum árásargjarnum leysiefnum eru þeir yfirleitt mildir-lyktandi, sem bæta viðtöku á vinnustað.
Ekki-eldfimi: Útrýma eld- og sprengihættu sem tengist leysiefnum eins og IPA eða asetoni við magnhreinsun.
2. Þrjú kjarnaforrit í hálfleiðurum
A. Nákvæmni hreinsun á flísum-
Eftir steinþrykk, ætingu eða ígræðslu eru lífrænt rusl og málmjónir < 10 nm eftir. Lítil seigja HFE ásamt mikilli skarpskyggni dregur úr fjölda agna í-skurði úr > 500 ea cm⁻² í < 10 ea cm⁻² innan 30 s; ásamt 40 kHz ultrasonics eða þota, málm-jóna (Cu²⁺, Fe³⁺) fjarlægingu > 99,9%, sem gefur "atóma-kvarða" yfirborð fyrir síðari ALD eða CVD.
B. Ljóshreinsun og fjarlæging-af öskuleifum
Hefðbundin SPM (H₂SO4/H₂O₂) eða amínhreinsiefni tæra Cu/Low-k; þynntur HFE-stripari sem byggir á leysir upp KrF, ArF og EUV þolir algjörlega við 60 gráður á 5 mínútum án taps á TiN hörðum grímum eða Cu línum, sem þegar eru hæfir fyrir hnúta undir 14 nm.
C. Ítarlegar umbúðir og ör-högghreinsun
Eftir TSV- eða ör-höggmyndun veldur flæðis- og leysi-borkolefni sem eftir er í 5 µm blindum brautum undir-fyllingartæmingu og bilun í Hi-potti. HFE azeotrope (HFE + co-leysir + tæringarhemill) úðar við 25 gráður í 2 mínútur, fjarlægir > 98% af leifum, er 100% samhæft við EMC, PI og Cu stoðir og hefur komið í stað NMP og asetóns í FC-BGA rúmmálslínum.
3. Markaðslandslag og staðsetning Kína
Alþjóðlegt: 3M Novec fjölskyldan á enn > 60% hlut, árleg sala ≈ 5 kt, tekjur ≈ USD 1,6 B; spáð að ná 2,3 milljörðum Bandaríkjadala árið 2025.
Innlent: Haohua, Capchem, Beijing Yuji og Juhua hafa náð háum-hreinleika (meira en eða jafnt og 99,999%) nýmyndun og eimingu, staðist SMIC, YMTC og HiSilicon hæfileika og bjóða nú upp á minnkandi-afleysingar fyrir 3M.
Horfur: Með 3D NAND, GAA-FET og Chiplet arkitektúr stækkandi, vex eftirspurn eftir lág-yfirborðs-yfirborðsspennu, há-sértækum hreinsiefnum > 20% á ári; HFE, þroskaður ODS staðgengill, mun halda áfram að njóta góðs.
HFE vatnsflúoreter er ekki aðeins „grænt slagorð“. Sérsniðin sameindabygging þess snertir sæta blettinn meðal hreinsikrafts, efnissamhæfis og umhverfisfótspors. Það gerir stórvirkjum kleift að elta lög Moores án þess að kosta ósonlagið eða kolefniskostnaðinn og gefur OSATs alhliða "þvo-og-þurrt, núll-leifar" uppskrift fyrir allt frá örsmáum höggum til stórra plötum. Þar sem Kína-framleitt há-hreinleika HFE er nú að stækka, er græna byltingin í nákvæmni hreinsun aðeins rétt hafin.
Fyrir fyrirtæki sem leita að HFE vatnsflúoreter veitir fyrirtækið okkar samkeppnishæf verð, áreiðanlegt framboð og tæknilega aðstoð. Hafðu samband við okkur í dag fyrir frekari upplýsingar!
