SF6, eða brennisteins hexafluoride, er gas sem oft er notað við þurrt etsingu, aðallega notað til kísil ets í hálfleiðara framleiðsluferlinu. SF6 gasið er með octahedral uppbyggingu, sem samanstendur af miðlægu brennisteinsatómi umkringdur sex flúoratómum. Óskautandi eiginleikar þess gera það að einangrandi gasi í háspennu rafbúnaði. Eðlisfræðilegir eiginleikar SF6 eru litlausir, lyktarlausir, ekki eldfimir, ekki eitraðir, einangrandi, þyngri en loft, kælingargeta, mikill rafstyrkur, hitauppstreymi og léleg leysni í vatni en leysanleg í lífrænum leysum sem ekki eru skautaðir.
Hvað varðar efnafræðilega eiginleika hvarfast SF6 varla við önnur efni við stofuhita, en brotnar niður undir sterku útfjólubláu ljósi.
SF6 er almennt framleitt af iðnaði og innihald þess í náttúrunni er mjög lítið. Viðbragðsjafnan fyrir SF6 framleiðslu er:
2 CoF₃ SF₄ [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ [Br₂]
Þegar SF₄, CoF₃ og Br₂ er blandað saman og hitað við 100 gráður, verður hvarf á milli þeirra. Í þessu hvarfi hvarfast hluti af SF4 og CoF₃ og myndar SF6 og CoF₂. Bróms er ekki neytt í hvarfinu, það virkar aðeins sem hvati.
Er SF6 hættulegur?
Þrátt fyrir að SF6 sé ekki eitrað í hreinu ástandi mun það koma í veg fyrir súrefni úr loftinu og rúmmálstyrkur sem er meiri en 19% í loftinu mun valda köfnun. Þess vegna er mjög mikilvægt að greina SF6 leka tímanlega og grípa til viðeigandi fyrirbyggjandi ráðstafana í framleiðsluferli hálfleiðara.
SF6 notkun í hálfleiðara iðnaði
SF6 er mikið notað í hálfleiðaraframleiðslu. Í kísilætarferlinu er SF6 notað sem aðal ætargasið og það vinnur saman við myndaðar rokgjarnu lofttegundirnar SF4 og C4F8 til að ná djúpri kísilætingu. Að auki er SF6 oft notað til að þurræta Mo og W málma, hvarfast við þessa málma til að mynda rokgjörn hexaflúoríð MoF₆ og WF₆. Þrátt fyrir að SF6 sé ekki ákjósanlegasta gasið fyrir álætingu, er hægt að nota það sem hjálpargas til að auka ætingarhraða áls þegar það er blandað við lofttegundir eins og Cl₂.
Silicon etsing
Í sílikon etsunarskrefinu er aðeins kísillinn neðst þar sem passivation filmið hefur verið fjarlægð. SF6 gas er kynnt og SF6 er aðgreindur í plasma til að búa til margs konar niðurbrotsafurðir, þar með talið mjög virk flúoratóm (F).
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Flúoratómin sem myndast hvarfast við kísilyfirborðið til að mynda kísiltetraflúoríð (SiF4), rokgjarnt efnasamband sem er auðveldlega losað úr hólfinu.
Si+4F-->SIF4
Neðst aðgerðarlagsæting
Á þessu stigi myndast aðgerðalag bæði á hliðarvegg og botn. Hins vegar viljum við aðeins halda aðgerðarlaginu á hliðarveggnum til að verja hliðarvegginn gegn ætingu, en við þurfum að fjarlægja passiveringslagið á botninum til að etsa niður. Þess vegna verður SF6 gas kynnt á þessum tíma til að ráðast á passiveringslagið á botninum. Eftir að passiveringslagið á botninum hverfur heldur SF6 áfram að etsa sílikonið og hringrásin endurtekur sig, eins og lykkja sem endalaust.
One-Stop Sf6 Brennisteinshexaflúorverksmiðja í Kína
Sendu fyrirspurn þína um Brennisteinshexaflúoríð SF6 gas til okkar!
Við munum veita hágæða SF6 gas og þjónustu til að mæta innkaupaþörfum þínum.
Sendu fyrirspurn núna
